證實！對華28nm以下大硅片出口管制已納入瓦森納協定

來源：互動平臺

投資者在互動平臺咨詢立昂微：國際前5大硅片生產商的12英寸用于28納米以下制程的硅片是不對國內出售的，請問是否屬實？立昂微公司回答表示，據了解，用于28納米以下制程的12英寸硅片已納入瓦森納協定。

作為國內老牌硅片制造商，立昂微的這一回復可信度極高。側面證實了西方對華硅片材料出口限制已經從14nm擴大到28nm節點，實質上突破了2019年年底修訂的《瓦森納協定》對硅片的出口限制范圍。

如果屬實，在國內12英寸大硅片技術和產能取得實質突破之前，或許晶圓廠的28nm及以下工藝產線暫時難以獲得進口硅片。從終端客戶（實體清單）、主芯片（GPU、代工）、設備（光刻機等）、大硅片再到EDA，對國內先進芯片的上游設計和制造環節合圍已經形成。

圖：《瓦森納協定》2019年新增條款

2019年年底，《瓦森納協定》完成了一次對中國大陸半導體發展影響巨大的一次修訂。其中對于大硅片技術管制的具體內容表述為：“對300mm直徑硅晶圓的切割、研磨、拋光達到局部平整度的技術要求，在任意26mm*8mm的面積內平整度差小于等于20nm，以及邊緣去除方面小于等于2mm。”

一位硅片業內人士解讀稱，這是行業內關于硅片平整度技術要求的最精準描述。換成大家都看得懂的說法就是，限制用于14nm及以下制程工藝的大硅片生產制造技術，不光硅片，所有涉及的技術、設備等都在出口管制之內。

“在40nm制程節點以下，對于硅片要求基本是差不多的，對應的技術節點主要是看光刻機下套準的精度是多少，精準度越高，平整度就要求越高，所以限制平整度絕對是專業手法?！?/span>

圖：立昂微制造的硅材料

與此同時，在硅片材料外，對華出口限制了先進工藝節點最重要的兩大工具——EDA軟件和制造設備（含EUV光刻機）。但在此之前，西方公開的出口管制政策一直停留在7nm-14nm節點，12英寸硅片也是如此。

公布該消息的立昂微成立于2002年3月，創始人闕端麟院士是中國最早研究硅材料的科學家之一，曾任浙江大學副校長。

2000年，闕端麟院士創辦硅片制造企業浙江金瑞泓（現為立昂微子公司），2010年承擔了02專項的“200mm硅片研發與產業化及300mm硅片關鍵技術研究”項目，目前已建成15萬片的12英寸硅片產能，在圖像傳感器件和功率器件上已實現大規模出貨。

圖：上海新昇大硅片項目奠基儀式

（右六為張汝京博士）

而另一家承擔了02專項的大硅片制造企業為張汝京博士創辦的上海新昇（現為滬硅產業子公司）。

作為一開始就瞄準“12英寸硅片卡脖子”的明星企業，上海新昇不負眾望，開發出用于20-14nm先進邏輯和存儲器的300mm硅片技術，目前已建設完成30萬片月產能的生產線，累計實現銷售達到600萬片。

此外，產能上有望解決晶圓廠“燃眉之急”的12英寸硅片制造企業還有中環股份、有研半導體、中欣晶圓、奕斯偉、上海超硅等。

但12英寸晶圓已經量產使用超過20年，這些國產“后生”追趕的難度也是顯而易見的。一是部分企業投資存在不確定性，存在泡沫產能無法落地；二是產品市場上，大部分企業沒有突破到40nm以內邏輯制程正片的規模出貨；三是缺乏規模優勢難以獲得市場認可，成熟工藝市場和五大國際硅片廠（日本信越、勝高、臺灣環球晶圓、德國Siltronic和韓國SK Siltron）動輒百萬片的產能及成本難以競爭。

這次的28nm管制，能刺激國內晶圓廠和硅片廠“結盟”并在材料領域掀起“替代潮”嗎？