路維光電已實(shí)現(xiàn)250nm制程節(jié)點(diǎn)半導(dǎo)體掩膜版量產(chǎn)

9月28日消息，深圳市路維光電股份有限公司披露調(diào)研紀(jì)要顯示，目前公司已實(shí)現(xiàn)250nm制程節(jié)點(diǎn)半導(dǎo)體掩膜版的量產(chǎn)。近年，公司主要客戶有京東方、華星光電、天馬、信利等，半導(dǎo)體掩膜版主要客戶有士蘭微、晶方科技、華天科技、通富微電、三安光電、光迅科技等。公司G11掩膜版產(chǎn)品相關(guān)技術(shù)指標(biāo)已達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平，CD精度可控制在±0.1μm以內(nèi)，總長(zhǎng)及位置精度可控制在±0.5μm以內(nèi)。

公開(kāi)資料顯示，深圳市路維光電股份有限公司成立于2012年, 路維光電成員，是高科技、高附加值、高技術(shù)密集型國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)，總部位于深圳市南山區(qū)科技園。公司成立至今一直專注于各類掩膜產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)，在中國(guó)掩膜版行業(yè)擁有多年的技術(shù)與經(jīng)驗(yàn)，是國(guó)內(nèi)唯一一家可覆蓋G2.5-G11全世代產(chǎn)線的本土掩膜版企業(yè)。

該公司自成立至今，一直致力于各類掩膜版的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品主要用于平板顯示、半導(dǎo)體、觸控和電路板等行業(yè)，是下游微電子制造過(guò)程中轉(zhuǎn)移圖形的基準(zhǔn)和藍(lán)本。經(jīng)過(guò)多年技術(shù)積累和自主創(chuàng)新，公司具有G2.5-G11全世代掩膜版生產(chǎn)線，可配套平板顯示廠商所有世代產(chǎn)線；實(shí)現(xiàn)了250nm制程節(jié)點(diǎn)半導(dǎo)體掩膜版量產(chǎn)，并掌握了180nm/150nm節(jié)點(diǎn)半導(dǎo)體掩版制造核心技術(shù)，滿足先進(jìn)半導(dǎo)體芯片封裝和器件等應(yīng)用需求。

數(shù)據(jù)顯示，深圳市路維光電股份有限公司及其關(guān)聯(lián)公司累計(jì)申請(qǐng)專利超過(guò)110件，其中發(fā)明專利近40件，占比超過(guò)32%。通過(guò)進(jìn)一步分析其專利技術(shù)數(shù)據(jù)可知，該公司在掩膜版、涂膠機(jī)、光學(xué)膜、光刻膠等領(lǐng)域擁有豐富專利布局。