又一家中國大陸廠商，生產出光刻機？精度為3μm？

眾所周知，全球能夠生產芯片光刻機的廠商只有四家，分別是荷蘭的ASML，日本的尼康、佳能，中國的上海微電子。

其中ASML的技術最強，是唯一能夠和生產EUV光刻機的廠商，目前精度已經支持到3nm。接著是尼康，其浸潤式光刻機，分辨率可達到7nm及以下。

再是佳能，其干式光刻機，可實現55nm及以上的分辨率，上海微電子也是干式光刻機，分辨率標注為90nm。

不過近日，有網友表示，全球第五家光刻機廠商誕生了，并且還是一家中國大陸的廠商，一時之間讓大家興奮不已，畢竟目前在半導體設備領域，我們最落后的就是光刻機了，有了突破必須興奮啊。

這家廠商叫大族激光，是國內頂尖的激光設備龍頭，在全球激光設備企業中，Trumpf營收、利潤規模第一，大族激光營收、利潤規模排名第二。

大族激光在互動平臺中表示，公司的光刻機項目主要應用在分立器件領域，分辨率3－5μm；其中，接近式光刻機已投入市場，步進式光刻機已啟動用戶優化。

這基本上就證實了大族激光擁有自己的光刻機，所以網友們當然很興奮了， 雖然接近式（也稱接觸式）、步進式光刻機技術相對于上海微電子還比較落后，但也是光刻機啊。

我們先說一個技術上的常識，光刻機在曝光方式上可以分為三類：接觸式光刻機、接近式光刻機和投影式光刻機。

像前面提到ASML、尼康、佳能、上海微電子這四大，均使用的是投影式光刻機，目前已經第4代。

但其實目前像能夠生產接觸式、步進式光刻機的廠商還有很多，這些分別是第一、二代光刻機。只是這些光刻機，生產的芯片工藝很是成熟，大多都是μm級別，達不到nm工藝，所以大家習慣性的不說這些光刻機。

故，大族激光也表示，自己的光刻機項目主要應用在分立器件領域，分辨率為3－5μm。所以這種光刻機，并不是大家想的能夠制造高端芯片的光刻機，也并不是當前的主流芯片制造的光刻機，大家不必太激動。

當然，任何技術都是從低端開始的，大族激光雖然現在只能夠生產接觸式、接近式光刻機，說不定后續也能夠生產浸潤式、EUV光刻機呢，所以我們還是可以報以極大的期待的。