9月1日起，浸潤式光刻機(jī)受限？ASML：今年內(nèi)中國客戶隨便買

眾所周知，荷蘭之前公布了一個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的禁令，表示NXT:2000i光刻機(jī)，以及更先進(jìn)的光刻機(jī)，是不能賣給中國的，除非拿到許可證。而這個(gè)禁令將于9月1日?qǐng)?zhí)行。

所以從9月1日起，很多人就表示，接下來國內(nèi)的晶圓廠可能有點(diǎn)難受了，因?yàn)橹荒苜I到NXT:1980Di這一款浸潤式光刻機(jī)了，比它更先進(jìn)的都不能買，包括EUV。

不過針對(duì)這一情況，ASML直接進(jìn)行了否認(rèn)，表示2023年內(nèi)，所有的DUV光刻機(jī)，包括NXT:2000i以及更先進(jìn)的NXT:2050i、NXT:2100i，都能夠賣給中國。

而為什么ASML能夠無視禁令呢？ASML表示，之前ASML就向荷蘭政府申請(qǐng)了許可證，而這個(gè)許可證的有效期是覆蓋2023年內(nèi)的，但是從2024年1月1日開始，就失效了，到時(shí)候ASML就不能將NXT:2000i及更先進(jìn)的光刻機(jī)賣給中國了。

那么這對(duì)中國的晶圓廠，有多少影響么？

說真的，其實(shí)影響不大，目前ASML在售的四款浸潤式光刻機(jī)，分別是NXT:1980Di、NXT:2000i、NXT:2050i、NXT:2100i，數(shù)字型號(hào)越大機(jī)器越先進(jìn)。

但從參數(shù)來看，不管是NXT:2000i，還是NXT:1980Di，或者更高級(jí)的NXT:2050i、NXT：2100i，他們的分辨率都是38nm，數(shù)據(jù)值孔徑都是1.35NA，波長都是193nm，經(jīng)過水的折射后，等效于134nm。

所以理論上，大家能夠制造的芯片工藝是一致的，只是晶圓處理速度不一樣，這個(gè)影響的是產(chǎn)能，但工藝影響不大。

同時(shí)浸潤式光刻機(jī)，最高是能夠制造7nm工藝的芯片，不管是相對(duì)落后一點(diǎn)的NXT:1980Di，還是最先進(jìn)的NXT:2100i，最高也都只是達(dá)到7nm，也都能達(dá)到7nm工藝。

所以中國晶圓廠，不管怎么買，都可以最高實(shí)現(xiàn)7nm，同時(shí)也無法進(jìn)入5nm的，因?yàn)?nm是需要EUV工藝，這是繞不開的。

更重要的是，既然還有這么多時(shí)間，ASML說可以銷售，那么國內(nèi)有需求的廠商也會(huì)想辦法囤一些最先進(jìn)的DUV光刻機(jī)，以保證接下來一段時(shí)間之內(nèi)的使用。

所以對(duì)于這個(gè)禁令，大家真的不必太過于擔(dān)心，除非說所有浸潤式都不能銷售，只能賣Dry，也就是干式光刻機(jī)，那樣影響就真的大了。