尼康推出浸潤式 ArF 光刻機 NSR-S636E，時隔二十多年再發新品

12 月 7 日消息，尼康官網發布新聞稿，宣布推出浸潤式 ArF 光刻機新品 NSR-S636E，將于明年 1 月開售。

據介紹，NSR-S636E 是尼康光刻系統中生產率最高的產品，是一款用于關鍵層的浸潤式光刻機。

尼康表示，隨著數字化轉型的加速，能夠更快地處理和傳輸大量數據的高性能半導體變得越來越重要。尖端半導體性能技術創新的關鍵推動因素是電路小型化和 3D 半導體器件結構，而 ArF 浸潤式光刻機對這兩種制造工藝都至關重要。與傳統半導體相比，在 3D 半導體制造過程中更容易發生晶圓翹曲和失真，因此需要比以往任何時候都更先進的光刻機校正和補償能力。

NSR-S636E ArF 光刻機利用增強型 iAS（inline Alignment Station），在曝光前執行復雜的晶圓多點測量。這一系統利用高精度測量和廣泛的晶圓翹曲和失真校正功能，提供了更高的重疊精度，同時保持了最大的吞吐量。

尼康表示，與當前型號相比，NSR-S636E 的生產效率提高了 10-15%。

從尼康官網參數表獲悉，NSR-S636E 光刻機支持 38nm 以下精度，吞吐量可達 280 片晶圓 / 小時。

據日經新聞此前報道，時隔二十多年，尼康將于 2024 年投放光刻機新產品，通過尋求逆勢開拓中國大陸市場，以實現卷土重來。

報道還稱，尼康和佳能曾在 1990 年代之前主導市場，但在最尖端的極紫外（EUV）設備的開發競爭中敗給了 ASML。極紫外光刻機在 2010 年后半期實用化，全世界只有 ASML 能夠生產。另一方面，尼康的經營資源分散在各種光源上，缺乏強勢領域。