ASML夠意思！2024年，我們不會缺浸潤式DUV光刻機

眾所周知，2024年剛開如，靴子就落地，ASML表態(tài)稱自己的兩張許可證被吊銷了，涉及的光刻機型號是NXT:2050i和NXT:2100i，ASML稱，“可能會對少數(shù)客戶帶來影響”。

于是大家一時間就想到，中國大陸肯定買不到這兩種最先進(jìn)的光刻機了，那么可能會對中國大陸的先進(jìn)工藝造成一定的影響。

這么想是有道理的，因為一直以來美國的禁令，就各種針對中國，2019年禁了EUV光刻機，后來在2023年，將高端的浸潤式DUV光刻機也禁了。

按照業(yè)內(nèi)人士的說法，浸潤式DUV光刻機，采用193nm波長光源，經(jīng)過水的折射，等效于134nm，再借助多重曝光等技術(shù)，能生產(chǎn)7nm制程芯片，甚至理論上能生產(chǎn)5nm芯片。

而目前國產(chǎn)光刻機，官宣的還還處于90nm工藝，目前我們的實際水準(zhǔn)，其實達(dá)到了至少7nm工藝，所以這種浸潤式DUV光刻機，不可或缺的。

不過，理論上雖然如此，但由于ASML在2023年還是夠意思的，所以在2024年我們肯定是不缺浸潤式DUV光刻機的，甚至未來3-5年可能都不會缺。

一是目前被吊銷的許可證，其實應(yīng)該早在2023年9月1日就要被吊銷的，但在ASML的努力，以及多方斡旋之下，拖了一個季度。

二是吊銷的還只有NXT:2050i和NXT:2100i這兩款，目前ASML在售的浸潤式DUV光刻機一共有4款，還有NXT:2000i和NXT:1980Di這兩款。

如下圖所示，這4款光刻機的分辨率是一樣的，只是產(chǎn)能不同，所以實際上都能夠?qū)崿F(xiàn)7nm，甚至理論上5nm的。

三是2023年ASML很夠意思，努力配合中國大陸客戶的要求，在禁令生效之前，努力“搶運”光刻機。

2023年搶的有多猛，給大家兩組數(shù)據(jù)對比一下就明白了，2022年中國從ASML進(jìn)口的光刻機數(shù)量約為100臺，金額約為21億歐元（約170億元）。

而2023年1-11月，中國從ASML進(jìn)口的光刻機就超過200臺，金額超過500億元，已經(jīng)是去年的3倍了。

ASML還稱，2023年基本上將欠中國客戶的訂單交付了，看到這里估計大家明白了，ASML顯然將光刻機產(chǎn)能中的很大一部分，優(yōu)先調(diào)配給了中國客戶，這還不夠意思？

要知道現(xiàn)在光刻機只是全球緊缺貨物，晶圓廠們都在排隊搶，ASML能在這樣的情況之下，將產(chǎn)能向中國大陸客戶傾斜，殊為不易。

所以，在ASML的努力之下，2024年，我們肯定是不缺浸潤式DUV光刻機，高端的去年已經(jīng)買到了很多，相對低端一點的， 現(xiàn)在還能買，根本就不用發(fā)愁，足夠用幾年了。

另外，從芯片發(fā)展來看，芯片的“制程”不能無限制縮小，線寬從28nm制程之后，就基本沒有再提升，所謂的5nm，并不是指芯片的最小線寬達(dá)到了5nm，而是借助架構(gòu)和工藝的提升，實現(xiàn)了“同5nm芯片一樣的能效”。

所以，當(dāng)我們設(shè)計改進(jìn)，架構(gòu)，封裝技術(shù)改進(jìn)，就算用這個DUV光刻機，未必不能制造出媲美3nm工藝的芯片來，大家從更長遠(yuǎn)一點來看，也不用急。

更何況，目前技術(shù)不斷發(fā)展，制造先進(jìn)的芯片，也不只有光刻這一條路，還有納米壓印、電子束光刻、DSA自生長等技術(shù)，均處于爆發(fā)前沿了，說不定這個禁令，倒逼中國走出另外一條路來。