給圖紙也造不出EUV光刻機(jī)？150噸，45萬套零件，250人要裝半年

眾所周知，EUV光刻機(jī)是制造7nm以下芯片，必須用到的半導(dǎo)體設(shè)備，且全球僅ASML一家能夠生產(chǎn)，還不能賣給中國。

所以中國的芯片制造工藝要進(jìn)入7nm以下，千難萬難，除非中國能夠自己制造出EUV光刻機(jī)出來，或者換一條路，不采用光刻工藝……

于是很多人就奇怪了，中國的模仿能力不是一流的么？那么將EUV光刻機(jī)拆了，將里面的零件一比一復(fù)制，不就造出來了么？

事實(shí)上，要造光刻機(jī)真沒這么簡單，之前網(wǎng)上流傳一個(gè)故事，說ASML的工程師對中國去參觀學(xué)習(xí)的工程師說，給你們光刻機(jī)的圖紙，你們都造不出光刻機(jī)來。

雖然不是真假，看起來也有一點(diǎn)夸張，但實(shí)情也許還真是如此，特別是EUV光刻機(jī)，真的給我們圖紙，也未必造的出來。

首先EUV光刻機(jī)非常復(fù)雜，全球有5000多家供應(yīng)商，一共有45萬多套零件，注意這里的單位是“套”，所謂的“套”，是指已經(jīng)做了一些整合的零件了。

這45萬多套零件，實(shí)際上還可以再拆分，如果按不可拆卸的最小單位來計(jì)算零件，據(jù)稱至少超過300萬個(gè)。并且這里面很多核心零件，是無法模仿的，有些零件甚至全球僅有那么一家廠商能夠制造。

而這家廠商和ASML就有獨(dú)家合作協(xié)議，比如蔡司的物鏡系統(tǒng)等，我們拿什么去一比一復(fù)制出來？我們難道還難自己搞定5000多家供應(yīng)鏈，自己制造出這300多萬個(gè)零件？所以還真是給圖紙，都造不出來。

其次，EUV光刻機(jī)也非常復(fù)雜，就算安裝調(diào)試都是一個(gè)大工程，目前的EUV光刻機(jī)，重量超過150萬，也就是15萬公斤。

在ASML交付的時(shí)候，并不是一臺整的機(jī)器交付的，而是分成若干個(gè)零件交付，運(yùn)輸?shù)臅r(shí)候，一臺EUV光刻機(jī)就需要250個(gè)貨箱來運(yùn)輸。

然后運(yùn)輸?shù)侥康牡刂螅枰狝SML安裝250個(gè)裝配工程師，再花180天的時(shí)間，才能安裝調(diào)試完成，中間需要大量的技術(shù)、經(jīng)驗(yàn)等。

所以不吹不黑，就算ASML將圖紙給我們，一方面我們找不到這些合適的零件，二是我們找到了零件，都未必能夠安裝調(diào)試完成。更何況中間還有各種專利限制。

所以，研發(fā)EUV光刻機(jī)，真不是一件容易的事情，我們一方面雖然不能自己人滅自己人威風(fēng)，要有信心，但另外一方面也要清楚，這事真的不容易，要有清醒認(rèn)識，要有打一場攻堅(jiān)戰(zhàn)的準(zhǔn)備。