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              前途末路!ASML陷入“工藝陷阱”,EUV光刻機走進了死胡同?

              2024-05-27 來源:科技專家
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              關鍵詞: 臺積電 三星 ASML

              自從芯片產業的制造,采用光刻方式之后,光刻機就成為了不可或缺的設備之一。


              而當光刻進入浸潤式時代后,ASML抱著臺積電大腿,豪賭浸潤式,徹底崛起,將尼康、佳能等遠遠的甩在了身后,真正一家獨大。


              如今在浸潤式光刻機領域,ASML份額超過90%,而在EUV光刻機領域,ASML的份額達到100%。


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              ASML不斷的升級機器,第一代浸潤式,升級為第二代浸潤式、第三代浸潤式……


              EUV光刻機也是如此,普通EUV,第一代EUV,NA=0.33的低數值孔徑EUV光刻機,再NA=0.55的高數值孔徑EUV光刻機……


              而晶圓廠,不斷的追求更先進的工藝,從7nm到5nm,再到3nm,于是也得跟著ASML的腳步走,一代又一代的升級光刻機,將自己的舊光刻機更新換代……


              除非你的工藝不進步了,死守28nm或14nm或XXnm,呆在原地不動,否則就要跟著ASML走……


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              直到ASML推出最新的NA=0.55高數值孔徑EUV光刻機,也就是High-NA EUV光刻機,型號為EXE:5200的光刻機后,大家發現不對了,ASML說這是用于2nm及以下的芯片制造的。


              因為這種光刻機實在是太貴了,售價高達3.5億歐元(約合27億元人民幣),大小約等于一輛雙層巴士,重量高達150噸,也就是150000KG,安裝需要ASML派250名工程師,6個月的時間。


              買這種光刻機,成本太高了,拿臺積電為例,如果將現有的100多臺EUV光刻機,全換成這種,需要近3000億的換代成本。


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              臺積電也受不了啊,于是近日臺積電做了一個決定,暫時不買這種High-NA EUV光刻機,要基于原來的NA=0.33的光刻機,進行技術改進。


              臺積電認為,哪怕是采用舊的光刻機,應該也是可以實現2nm甚至2nm以下芯片制造的,哪怕良率低一點點,流程稍微復雜一點點,也會比投資幾千億來換新EUV光刻機成本更低。


              而一旦臺積電不買這種新光刻機,那么ASML可能就會是到麻煩了,甚至可能是“末路”,因為臺積電一直是其EUV光刻機最大的客戶,如果臺積電不買,誰來買?intel、三星?估計這倆一旦看到臺積電不買,也會學臺積電的技術路線。


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              而成熟工藝的光刻機,比如DUV等,因為本身價格不貴,利潤也不是很高,且競爭也大,只有EUV光刻機沒競爭,才是ASML賺錢的根本啊。


              可以說現在ASML是陷入了“工藝陷阱”了,如果跨不過去,可能就是末路,前路一片迷茫,因為芯片工藝逼近物理極限,EUV光刻機也就走進死胡同,花更高的成本去更新也無人買單了。



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