高端光刻膠再次告急 這家公司產品獲多家晶圓廠導入

5月27日消息，據報道，由于 KrF 光刻膠產能受限以及全球晶圓廠積極擴產等，占據全球光刻膠市場份額超兩成的日本供應商信越化學已經向中國大陸多家一線晶圓廠限制供貨 KrF 光刻膠，且已通知更小規模晶圓廠停止供貨 KrF 光刻膠。

業內人士表示，未來國內多家晶圓廠或將面臨 KrF 光刻膠大缺貨的處境，彤程新材作為目前國內唯一一家能夠供應 KrF 光刻膠的廠商，大陸多家晶圓廠正在加速驗證導入其子公司北京科華的 KrF 光刻膠。

資料顯示，北京科華成產品覆蓋 KrF ( 248nm ) 、l-line、G-line、紫外寬譜的光刻膠及配套試劑，是中芯國際、華潤上華、杭州士蘭、吉林華微電子、三安光電等行業頂尖客戶的穩定合作伙伴。

信越化學之所以停止供貨部分晶圓廠 KrF 光刻膠，與 2 月份日本福島東部海域發生 7.3 級地震有莫大關聯。地震導致信越化學 KrF 光刻膠產線受到很大程度的破壞，至今尚未完全恢復生產。

上述業內人士還表示，國內晶圓廠面臨 KrF 光刻膠大缺貨，除了信越化學 KrF 光刻膠產線供應出問題外，更大的原因在于，在日本福島地震之前，KrF 光刻膠的產能供應就較為緊張。

晶圓代工產能不斷擴張 光刻膠國產化任重道遠

光刻膠是半導體光刻工藝的關鍵材料，按照曝光波長可分為 g 線、i 線、KrF、ArF 和 EUV 光刻膠，后三者為高端光刻膠產品。

目前，全球半導體光刻膠被日本 JSR、TOK、住友化學、信越化學，以及美國陶氏化學所主導。我國適用于 6 英寸硅片的 g 線和 i 線光刻膠自給率約為 20%，適用于 8 英寸硅片的 KrF 光刻膠自給率不足 5%，適用于 12 寸硅片的 ArF 光刻膠則完全依靠進口。

這一背景下，供應鏈安全重要性不言而喻。

另一方面，由于全球晶圓代工產能不足，產能擴充一直在進行中，今年以來，除了臺積電、三星、英特爾、聯電等晶圓廠積極擴產外，中芯國際、華虹宏力、廣州粵芯等本土晶圓廠也積極擴產和釋放產能。

國內半導體產能快速擴展和供應鏈自主可控的需求也為光刻膠行業帶來了發展機遇，2020 年行業龍頭晶瑞股份光刻膠業務營收增長 16.98%，增速遠超往年，為 2018 年以來最高，顯示行業景氣度較高。

根據智研咨詢預測，2022 年中國大陸半導體光刻膠市場空間將會接近 55 億元，是 2019 年的兩倍。

光刻膠供應不足的情況仍將持續一段時間。據央視財經 3 月 22 日報道，國內光刻膠供應極為短缺，以往企業每次采購的光刻膠量約在 100kg，近期由于原材料短缺，每期只能采購到 10kg-20kg。

而在半導體供應鏈安全逐漸得到重視的背景下，一方面我國出臺了多項相關政策，為光刻膠產業發展提供了良好的政策支持，另一方面國家集成電路大基金二期布局規劃明確支持包括光刻膠在內的國產半導體材料產業鏈，國產光刻膠研發和量產或將提速，國內廠商紛紛計劃在被日美壟斷的半導體光刻膠領域擴大投入，并在高端光刻膠領域研發和量產持續突破。

A 股上市公司中，彤程新材走在前列，其 ArF 光刻膠已經量產，KrF 光刻膠尚在研發過程中；上海新陽主攻 KrF 和干法 ArF 光刻膠，目前已進入產能建設階段；南大光電子公司寧波南大光電自主研發的 ArF 光刻膠已通過客戶認證；晶瑞股份的 KrF 光刻膠已經完成中試，正進入客戶測試階段，ArF 光刻膠尚在研發過程中。