安弧科技獲數千萬元天使輪融資，加速半導體靜電卡盤國產化

據常春藤投資消息，近日，安弧科技宣布完成數千萬元天使輪融資，本輪由常春藤資本領投，長投集團、常見投資跟投。資金將用于靜電卡盤及配套控制器等半導體設備核心零部件研發，該公司總部已遷往浙江嘉興經開區。

安弧科技專注于半導體制造關鍵部件-靜電卡盤（ESC, E-CHUCK）的研發與生產。

目前，我國靜電卡盤的研發制造仍處于起步階段，進口依賴度達95%以上，被日韓美制造商高度壟斷，屬于“卡脖子”關鍵零部件，尤其在半導體制裁加劇的背景下，國產替代需求進一步增強。常春藤投資消息指出，安弧科技致力于打破國外廠商在半導體靜電卡盤領域的長期壟斷，推動國內半導體設備核心零部件的國產化進程，提升我國半導體產業的自主可控能力。

安弧科技創始人兼CEO李瀛龍擁有上海交通大學機械工程與密歇根大學（美國）航空航天工程雙學士學位，聯合創始人兼COO韓紹庭擁有復旦大學數學學士學位，二人作為碩士研究生同學共同畢業于加州大學伯克利分校（美國），畢業后分別在海外半導體設備研發與資本市場投融資頭部企業任職十余年。歸國后，兩人一拍即合決定創業組建團隊。據悉，該公司團隊成員畢業于上海交通大學、復旦大學、加州大學伯克利分校（美國）、特魯瓦科學技術大學（法國）、東京工業大學（日本）等國內外頂尖高校，曾就職于ASML等知名企業，在半導體設備零部件領域擁有豐富的研發實戰經驗。

靜電卡盤相較于傳統的機械卡盤與真空卡盤，能有效避免傳統機械卡盤在使用過程中由于壓力、碰撞等機械原因對晶片造成不可修復的損傷，減少顆粒污染，增大晶片的有效加工面積，同時克服了真空卡盤不可應用于低壓環境的缺陷。靜電卡盤已經取代了傳統的機械卡盤與真空卡盤成為半導體裝備中非常重要的通用零部件。

（來源：常春藤投資）

在靜電卡盤材料選擇上，安弧科技聚焦玻璃基，其工藝選擇多、材料成本低、難度可靈活適配，熱膨脹系數可調且有更加優異的耐壓表現，在先進制程等領域具有突出優勢 。

此外，安弧科技還提供高穩定性、低電磁干擾的配套器件，涵蓋傳感、偏壓、熱控等數字控制和電源模塊，與靜電卡盤產品形成協同，滿足客戶的多樣化需求。

長投集團表示：本次投資安弧科技，將進一步增強區域產業鏈韌性，帶動嘉興市半導體產業向高技術、高附加值領域延伸。