將芯片節點縮小至 1nm 以下：彭博社對話 IMEC CEO

近日，比利時微電子研究中心（IMEC）發布了 1nm 工藝下金屬互連的新方法，解決了 1nm 節點互連發熱問題。

事實上，IMEC 已經成為了全球半導體生態中的重要一環，在先進制程工藝的開發中有著舉足輕重的地位，和美國英特爾、IBM 并稱微電子領域“3I”。

而隨著全球開始關注半導體問題，IMEC 由于其重要性也受到了越來越多的關注。在上個月白宮對美國供應鏈的評估中，IMEC 和荷蘭光刻機廠商 ASML 一并出現在了報告中。用一位業內人士的話說，IMEC 是一個很少有人知道，但是每個人都應該知道的地方。

彭博社也對 IMEC 的首席執行官 Luc Van den hove 進行了采訪，以下是媒體在不改變原意前提下進行的編譯。

▲ IMEC 首席執行官 Luc Van den hove（來源：彭博社）

一、中試線工藝超 5nm 2-3 代，價值超 25 億歐元

1984 年，幾位比利時的大學教授向比利時弗拉芒大區政府提議，建設一個微電子研究中心，解決高校科研和產業脫節的問題。

弗拉芒大區政府很快就同意了這一建議，投入了價值 6200 萬歐元的比利時法郎，建立了 IMEC。一開始，IMEC 的資金大多由政府提供。

很快，IMEC 設計出一種新的合作模式，也就是 IMEC 工業聯盟項目（IIAP）。在這樣的合作模式下，廠商需要向 IMEC 提供入會費和年費。入會后，廠商就可以與 IMEC 合作開發技術。項目中，IMEC 掌握研發決策權與各方信息，但是各家廠商也可以向 IMEC 提出自己的質疑，糾正其決策錯誤。

而在 IMEC 和英特爾、臺積電、三星電子、應用材料等 IC 供應鏈巨頭達成了合作關系后，政府撥款占比逐步降低。如今，IMEC 75% 的資金來自于這些 IC 供應鏈廠商，有超過 4500 名員工，是全球最重要的微電子研究機構之一。

因為有了眾多廠商的參與與資金支持，IMEC 擁有 1 條 200mm（8 英寸）和 1 條 300mm（12 英寸）晶圓中試線。其中 300mm 中試線配備有 EUV 光刻機等最先進的設備，價值 25 億歐元（約合 30 億美元，210 億人民幣），比臺積電、三星電子量產的 5nm 工藝領先 2 到 3 代，讓 IMEC 的研究人員可以研究 2nm 及以下的節點工藝。

今年 5 月份，英特爾首席執行官 Pat Gelsinger 評價 IMEC 和 ASML 是歐洲的 2 顆寶石。

▲ IMEC 潔凈室中有著應用材料、泛林半導體、ASM、ASML 等最先進的半導體設備（來源：IMEC）

二、專注芯片節點演進，曾聯手華為、中芯國際、高通研發先進制程

近年來，隨著芯片制程工藝的不斷發展，摩爾定律正在逐漸失效。很多國家都在研發氮化鎵（GaN）、碳化硅（SiC）、氧化鋅（ZnO）和金剛石等寬禁帶半導體。

IMEC 的首席執行官 Luc Van den hove 則認為，這類半導體的市場有限：“我們相信硅是完美的平臺。”而 IMEC 會繼續將芯片節點縮小到 1nm 以下。

對于芯片技術的前景，Luc Van den hove 則認為這將為很多行業帶來發展。此外，IMEC 在人工智能、物聯網、生命科學等領域也有著較強的研發實力。Luc Van den hove 談到生命科學中的一些應用將會在 5 年內帶來“巨大的繁榮”，通過結合這些前沿技術，人們可以做到一些非凡的事情。

IMEC 此前也與中國公司、機構進行過一系列合作。2015 年，IMEC 與中芯國際、華為、高通四家公司宣布共同投資中芯國際集成電路新技術研發（上海）有限公司，開發下一代 CMOS 邏輯工藝；今年 2 月，IMEC 還成為了無錫半導體行業協會的會員單位。

▲ IMEC 潔凈室（來源：彭博社）

三、受美國重點關注，IMEC CEO 稱需保持冷靜

IMEC 強大的研發能力也吸引了美國的注意。

新美國安全中心（Center for a New American security）技術和國家安全項目主任 Martijn Rasser 稱，在美國政府與歐盟所建立的科技聯盟中，IMEC 可能會是其中的重點。

美國中情局（CIA）的前技術和創新工作人員也提到，由于 IMEC，其所在的比利時魯汶成為了政治人士和行業所關注的中心。

▲ 從 IMEC 大樓看魯汶市區（來源：彭博社）

Luc Van den hove 就此事透露，IMEC 正在就此事進行討論。因為 IMEC 渴望“以積極的方式推動行業發展，所以無論 IMEC 能夠做什么來支持（行業發展），都會接受這些討論”。

不過這也引發了一些技術上的盜竊行為。Luc Van den hove 稱，IMEC 遇到過一些員工不按照其行為準則和價值觀行事的案件。他補充道，這樣的現象并不局限于任何一個國家。

Luc Van den hove 提到，IMEC 當前研究能力并沒有因為政治壓力而受到損害，“但是我們也必須面對現實，接受地緣政治緊張局勢正在加劇的事實。”

雖然如此，Luc Van den hove 說，各類前沿技術仍將帶來巨大的機會，保持冷靜非常重要。

▲ Luc Van den hove 手持晶圓（來源：彭博社）

結語：IMEC 成功關鍵在于合作、中立

IMEC 作為半導體制程的重要參與者，其成功的原因之一就是開放、中立的國際合作模式。在這樣的模式下，IMEC 推動整個半導體行業的發展，也匯聚了包括中國在內的全球各國技術人才。

而在當前較為緊張的地緣政治下，美國等對其所施加的政治壓力，如果影響到了其中立的立場，或許將會動搖 IMEC 立身之本。