應(yīng)用材料將協(xié)助全球領(lǐng)先的SiC芯片制造商增加產(chǎn)量

9月10日消息，應(yīng)用材料宣布，該公司推出新的200亳米（8吋）化學(xué)機械研磨(CMP)系統(tǒng)，可精確移除晶圓上的碳化硅（SiC）材料，最大化芯片效能、可靠性和產(chǎn)能；且透過這項新的碳化硅芯片「熱植入」技術(shù)，可在對晶格結(jié)構(gòu)破壞最小的情況下注入離子，進而最大化發(fā)電量和組件產(chǎn)能。

應(yīng)用材料指出，公司推出這項新產(chǎn)品，將協(xié)助全球領(lǐng)先的SiC芯片制造商，從150毫米（6吋）晶圓制造升級為200毫米（8吋）制造，增加每片晶圓裸晶 (die) 約一倍的產(chǎn)量，滿足全球?qū)?yōu)質(zhì)電動車動力系統(tǒng)日益增加的需求。

應(yīng)用材料強調(diào)，由于SiC功率半導(dǎo)體可以高效地將電池功率轉(zhuǎn)化為扭力，并提高電動車的性能和續(xù)航能力，因此市場需求極高。

應(yīng)用材料進一步指出，和硅比較，SiC本身較為堅硬，其原生缺陷可能會導(dǎo)致電氣性能、功率效率、可靠性和產(chǎn)能下降，所以，需要更先進的材料工程技術(shù)來優(yōu)化裸晶圓的生產(chǎn)，并建構(gòu)對晶格損害最小的電路。

全球最大SiC基板制造廠科銳 (Cree) 公司總裁暨執(zhí)行長Gregg Lowe指出，交通產(chǎn)業(yè)電動化不斷上升的，公司也正透過Wolfspeed技術(shù)，引領(lǐng)全球從硅轉(zhuǎn)換到碳化硅，加速推動此一歷史轉(zhuǎn)折點。在更大型的8吋晶圓上提供最高效能的碳化硅功率組件后，公司不僅能提高終端客戶的價值，還能滿足不斷成長的需求。

Lowe補充說，應(yīng)用材料支援并加快 Albany 8吋的制程檢定，以及公司Mohawk Valley晶圓廠的多項設(shè)備安裝，加速了這項轉(zhuǎn)型。此外，應(yīng)用材料ICAPS團隊所開發(fā)的各種新技術(shù)，如熱植入 (hot implant) 等，也擴大加深了彼此的技術(shù)合作，同時協(xié)助科銳在功率技術(shù)上的發(fā)展。