Atonarp Aston Impact 計量平臺開始向韓國半導體 FAB 批量出貨

Atonarp，半導體工藝控制原位實時高靈敏度計量領域的領頭企業，在全球范圍內正式發布并銷售其 Aston 平臺。這是 Atonarp 公司全球發展進程中的一座重要里程碑。

Aston 是一款緊湊型質譜儀，可提供準確、實時的工藝化學數據，其分子濃度測量靈敏度可達十億分之一。這些數據能讓半導體制造 FAB 實現高效運行，從而提高產量和吞吐量，為 FAB 運營商帶來巨大的經濟利益。

隨著這一消息的宣布，Atonarp 正向韓國和美國的領先半導體 FAB 和設備制造商交付了 Aston Impact。此外，Atonarp 還向客戶交付數十臺 Aston ，供客戶在其先進工藝中進行評估，以優化其工藝和制造效率。

Atonarp 公司產品營銷副總裁 Martin Mason 說：“在分子水平上快速檢測、量化并提供可操作的工藝控制數據的能力，對于先進半導體制造工藝來說意義重大。對于一個典型的 FAB 來說，即使吞吐量只增加百分之一，每年也能增加數千萬美元的產量。Aston 十分清楚其潛力，在這其中，速度和靈敏度對分子水平的工藝控制效率來說十分重要。”

計量是半導體制造的一個重要部分，在生產設備內測量多種氣體的濃度，可以確保滿足工藝余量，同時盡量減少浪費。以前的解決方案依賴于光發射光譜測量和殘余氣體分析儀，但這些傳統方法已不能滿足當今先進存儲器和邏輯工藝所需的速度和靈敏度。相反，Aston 使用創新質譜技術，采用同類最佳傳感器，可提供快速的結果和出色的靈敏度，以及抵抗腐蝕性氣體和冷凝物所需的堅固性。

 

Aston 為先進半導體應用提供可操作數據，如原子水平沉積 (ALD) 和 sub-fab 操作等。Aston 靈敏度低于十億分之平方根赫茲 (9ppb√Hz)，比競爭對手的解決方案高十倍，且不影響收集數據的速度。

Atonarp 正積極開展合作，為半導體領域的新應用以及需要實時、敏感氣體分析的應用（如石油和天然氣以及凍干法工藝控制）開發 Aston 平臺。

Aston 已取得多項認證和資格，包括 EN55032（歐盟）、EN55035（歐盟）、FCC part 15（美國）、ICES-003（加拿大）、VCCI CISPR-32（日本）、BSMI（中國臺灣）、KC EMC（韓國）的 EMI/EMC 標準。憑借這些認證，Aston 現已面向全球客戶批量發貨。

  

Atonarp 與韓國 ATI 公司合作，為該地區客戶提供蝕刻、CVD、空間 ALD 和 Sub-fab 應用的綜合解決方案。