中國電科旗下電科裝備已實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機(jī)28納米工藝制程全覆蓋

2023-07-11 來源：國際電子商情

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7月3日，中國電子科技集團(tuán)有限公司(簡稱中國電科)官網(wǎng)刊文指出，中國電科連續(xù)突破光路、控制、軟件等關(guān)鍵模塊的核心技術(shù)，實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機(jī)28納米工藝制程全覆蓋重大科技成果，有力保障中國集成電路制造行業(yè)在成熟制程領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)安全。

研發(fā)人員正在調(diào)試離子注入機(jī)(圖片來自中國電科官網(wǎng))

離子注入機(jī)是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素按預(yù)定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預(yù)定能量并注入至特定半導(dǎo)體材料中，離子注入機(jī)就是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設(shè)備。

當(dāng)前，28納米是芯片應(yīng)用領(lǐng)域中覆蓋面最廣的成熟制程。據(jù)介紹，電科裝備連續(xù)突破光路、控制、軟件等關(guān)鍵模塊的核心技術(shù)，形成中束流、大束流、高能及第三代半導(dǎo)體等全系列離子注入機(jī)產(chǎn)品格局，實(shí)現(xiàn)了28納米工藝制程全覆蓋，切實(shí)保障國產(chǎn)芯片生產(chǎn)制造。

據(jù)了解，作為國內(nèi)最早從事離子注入設(shè)備研制及產(chǎn)業(yè)化的企業(yè)，電科裝備已具備從產(chǎn)品設(shè)計(jì)到量產(chǎn)應(yīng)用的完整研制體系，產(chǎn)品涵蓋邏輯器件、存儲(chǔ)器件、功率器件、傳感器等工藝器件，百臺(tái)設(shè)備廣泛應(yīng)用于國內(nèi)各大集成電路先進(jìn)產(chǎn)線，累計(jì)流片2000萬片，有力提升中國產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈韌性和安全水平。

大束流離子注入機(jī)成功入選《推薦目錄(2022年版)》

此前于今年5月，電科裝備官網(wǎng)刊文指出，電科裝備北京爍科中科信公司大束流離子注入機(jī)作為高端裝備成功入選《中央企業(yè)科技創(chuàng)新成果推薦目錄(2022年版)》(以下簡稱《推薦目錄》)。本次推薦目錄共涉及核心電子元器件、關(guān)鍵零部件、分析測試儀器、基礎(chǔ)軟件、關(guān)鍵材料、先進(jìn)工藝、高端裝備七個(gè)領(lǐng)域。

大束流離子注入機(jī)作為全系列離子注入機(jī)中的拳頭產(chǎn)品之一，北京爍科中科信以創(chuàng)新賦能其產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程，用技術(shù)迭代提升其產(chǎn)品性能，全面保障了設(shè)備在產(chǎn)線的運(yùn)行狀態(tài)，展現(xiàn)了更高水平的產(chǎn)能，切實(shí)維護(hù)了集成電路領(lǐng)域供應(yīng)鏈的安全。目前，低能大束流離子注入機(jī)8寸產(chǎn)線已實(shí)現(xiàn)了工藝全覆蓋及批量跑貨，累計(jì)跑貨量超500,000片，12寸產(chǎn)線28nm及以上工藝實(shí)現(xiàn)全覆蓋，應(yīng)用于先進(jìn)制程的高溫注入機(jī)已完成整機(jī)設(shè)計(jì)及組裝，現(xiàn)已實(shí)現(xiàn)在高溫600℃以上時(shí)，設(shè)備仍能均勻吸附晶圓，且能夠保障高效穩(wěn)定傳輸。