英特爾Fab 52投入18A量產

英特爾（Intel）正式揭開亞利桑那州Fab廠神秘面紗，宣示將成為美國先進芯片制造的關鍵推手。其中，位于錢德勒市Ocotillo園區的Fab 52已導入4臺荷商艾司摩爾（ASML）極紫外光（EUV）光刻機設備，并預留兩座再擴充空間，未來可依客戶需求隨時「上膛」擴產。現階段Fab 52已投入Intel 18A最新處理器的量產。

英特爾CEO陳立武近期親赴亞利桑那視察，外界解讀，憑借他與全球芯片大廠的良好關系，英特爾有望吸引更多外部客戶代工，重塑全球晶圓制造版圖。

Ocotillo園區是英特爾經營超過45年的重鎮，從早期的Fab 12到2021年動土的Fab 52，累計投資已超過500億美元。實地走入量產中的Fab 52，可見頭頂的OHT（自動天車）系統高速運轉，生產下一代Panther Lake與Clearwater Forest晶片。最醒目的是三層樓高的第三代EUV設備，為容納這「生產巨獸」，廠房特別加高設計。

據設備業者透露，該EUV機臺每小時產能（WPH）約為195片晶圓，后續可提升至220片。 Intel 18A月產能預估將于年底起以每月1,000至5,000片速度拉升（ramp-up），2026年上看1萬至1.5萬片，2027年后可達3萬片水準，并預留再添兩臺EUV的空間。

據了解，完成前段制程的晶圓，將送往新墨西哥州封裝廠進行后段制程，實現「全美制造（Made in USA）」的芯片生產鏈。