7.0級地震沖擊中國臺灣半導體晶圓廠，石英爐管損耗才是復工關鍵

中國臺灣宜蘭外海12月27日深夜發生規模7.0地震，業者分析，對半導體產業影響僅次于“921”大地震及2024年“0403”地震，盡管多數機臺能快速復歸，但石英爐管的破損程度與備料匹配度，將成為產線能否全面復原的關鍵。

石英爐管是半導體制造過程中，位于擴散制程機臺核心的圓柱形容器，能提供相對純凈的空間，確保硅晶圓在加工過程中不被金屬離子污染。由于石英“硬而脆”的特性，地震時的劇烈晃動容易導致爐管與機臺框架發生碰撞而破碎。

提供邏輯與存儲晶圓代工服務的力積電表示，竹科與竹南的8英寸、12英寸廠產線均受地震影響，主要為石英相關設備與材料，相關損害仍在評估與盤點，受損細節尚未完全明朗。目前影響范圍涵蓋產線設備與關鍵材料，待盤點結果出爐后，才能更精準量化對財務與產能的沖擊。

力積電指出，此次地震的嚴重程度僅次于1999年“921”大地震和2024年“0403”地震、排在第三。從過往經驗看，規模較小的地震后約2~3天，產線可恢復正常運作，但此次需視石英爐管備料與實際損壞狀況而定。

力積電表示，石英爐管屬關鍵流程環節，修復與更換所需時間較長，其他機臺將盡快復歸，但整體復原時程取決于石英爐管材料供應與安裝恢復。雖然2024年“0403”地震后已增加石英材料庫存，仍需評估可用性與匹配度，若有破碎需更換，將延長裝機與校準的時間，進而影響后續晶圓交期。

存儲廠南亞科表示，內部仍在針對地震災損進行完整詳細的確認，還需要多一些時間，預計12月29日上班會統一說明。

根據中國臺灣地震報告，12月27日晚間11時5分發生芮氏規模7.0地震，地震深度72.8公里，震央位于宜蘭縣政府東方32.3公里（位于中國臺灣東部海域），中國臺灣多地最大震度4級。