中芯寧波自主體聲波諧振器工藝平臺(tái)已支持多家芯片廠商實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)

據(jù)EETOP從業(yè)內(nèi)消息人士獲悉，中芯集成電路（寧波）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中芯寧波”）的自主體聲波諧振器工藝技術(shù)平臺(tái)SASFR ，已支持多家設(shè)計(jì)公司實(shí)現(xiàn)射頻前端中高頻體聲波濾波器（BAW）量產(chǎn)，客戶產(chǎn)品性能已達(dá)到國(guó)內(nèi)最優(yōu)、業(yè)界先進(jìn)水平，可開始向高端手機(jī)供貨，在中國(guó)大陸?yīng)殬湟粠茫苍陂L(zhǎng)期被國(guó)外廠商壟斷的中高端體聲波濾波器領(lǐng)域，實(shí)現(xiàn)了具有全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的核心技術(shù)和規(guī)模制造突圍。

SASFR（SuspendedAcoustic Separated Film Resonator，也稱“懸浮聲學(xué)隔離薄膜諧振器”）是中芯寧波全自主開發(fā)并擁有全套自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的一種懸臂式薄膜體聲波諧振器工藝與器件技術(shù)，包含集成空腔的諧振器前道晶圓工藝平臺(tái)以及后道晶圓級(jí)芯片封裝與測(cè)試配套技術(shù)。與業(yè)界沿用多年的傳統(tǒng)技術(shù)路線大相徑庭，SASFR 平臺(tái)在薄膜工藝構(gòu)架和諧振器件設(shè)計(jì)上，實(shí)現(xiàn)了真正意義上的自主創(chuàng)新突破，且其諧振器關(guān)鍵性能指標(biāo)可與國(guó)際競(jìng)品比肩，個(gè)別性能甚至高于國(guó)際水平。

這一自主體聲波濾波器晶圓工藝平臺(tái)，其核心諧振微器件能夠?qū)崿F(xiàn)射頻信號(hào)的高性能篩選、降噪、濾波或諧振等多重功能。基于這一平臺(tái)設(shè)計(jì)的0.8至6.0 GHz射頻濾波器產(chǎn)品，具有低插損、高隔離度、微型化、高功率、體積小等諸多優(yōu)點(diǎn)，應(yīng)用范圍廣泛，所支持產(chǎn)品設(shè)計(jì)和開發(fā)靈活性強(qiáng)，基本覆蓋了5G通信所有領(lǐng)域，如手機(jī)、無(wú)線通信基站、智能電表，以及智能家電信息交互等應(yīng)用場(chǎng)景。

SASFR 工藝技術(shù)和規(guī)模制造平臺(tái)是中芯寧波的核心產(chǎn)品線之一。2019年啟動(dòng)產(chǎn)品線研發(fā)后，中芯寧波只用不到兩年的時(shí)間，就通過(guò)了多家客戶的產(chǎn)品認(rèn)證并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。

據(jù)芯智訊了解，去年4月底，國(guó)產(chǎn)EDA軟件、集成無(wú)源器件IPD和系統(tǒng)級(jí)封裝領(lǐng)域的領(lǐng)先供應(yīng)商芯和半導(dǎo)體就曾宣布，基于中芯寧波自主開發(fā)的高性能體聲波諧振器技術(shù)以及全套晶圓級(jí)加工與封裝工藝技術(shù)，芯和半導(dǎo)體的首款自主設(shè)計(jì)和開發(fā)的高頻段體聲波濾波器產(chǎn)品正式發(fā)布，并已向本土無(wú)線終端客戶送樣，進(jìn)入系統(tǒng)客戶的驗(yàn)證和測(cè)試階段，并于2020年第三季度進(jìn)入批量生產(chǎn)和供貨。

另?yè)?jù)新聲公司負(fù)責(zé)人表示，選擇中芯寧波作為戰(zhàn)略合作伙伴的最重要原因是，SASFR 工藝平臺(tái)是中芯寧波CEO黃河博士親自率領(lǐng)團(tuán)隊(duì)從零開始全自主開發(fā)，知識(shí)產(chǎn)權(quán)完全自主可控。啟動(dòng)客戶推廣與產(chǎn)品合作以來(lái)，新聲在中芯寧波代工的體聲波濾波器良率和可靠性快速提升。中芯寧波用兩年的時(shí)間走過(guò)了國(guó)外IDM十年的發(fā)展道路。

據(jù)了解，此前中芯寧波相關(guān)業(yè)務(wù)負(fù)責(zé)人曾表示，公司CEO黃河博士是SASFR 的核心發(fā)明人。公司研發(fā)和晶圓廠運(yùn)營(yíng)團(tuán)隊(duì)在黃河博士的領(lǐng)導(dǎo)下從零起步，排除各種質(zhì)疑，戰(zhàn)勝無(wú)數(shù)艱難險(xiǎn)阻，純粹憑借團(tuán)隊(duì)自身的力量，堅(jiān)定地走全自主工藝技術(shù)開發(fā)道路，短時(shí)間內(nèi)完成了全套晶圓制造工藝、晶圓級(jí)封裝和測(cè)試的開發(fā)、設(shè)置和驗(yàn)證并進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化，創(chuàng)造了奇跡。

業(yè)內(nèi)專家評(píng)價(jià)說(shuō)，中芯寧波SASFR 制造平臺(tái)的成功充分說(shuō)明，憑借自主創(chuàng)新的堅(jiān)定決心、團(tuán)結(jié)實(shí)干的優(yōu)秀隊(duì)伍和互信共贏的市場(chǎng)合作，完全有可能在一些國(guó)外壟斷的領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)安全的產(chǎn)業(yè)化突破。

隨著5G商用的啟動(dòng)，國(guó)內(nèi)濾波器出貨量呈現(xiàn)爆發(fā)式增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。業(yè)內(nèi)分析機(jī)構(gòu)預(yù)測(cè)，2022年全球?yàn)V波器市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到160億美元，其中體聲波濾波器占比約47%，市場(chǎng)規(guī)模約75億美元。目前，國(guó)內(nèi)中高頻體聲波濾波器市場(chǎng)仍然主要被Broadcom和Qorvo等國(guó)外廠商所壟斷。